שיטת ניקוי ושיטת מכשיר של מכונת ניקוי סיליקון חד-גבישית

שיטת ניקוי ושיטת מכשיר של מכונת ניקוי סיליקון חד-גבישית

עם הפיתוח של טכנולוגיית חומר מוליכים למחצה, מוצעות דרישות גבוהות יותר גם למפרט ולאיכות של פרוסות סיליקון. הביקוש בשוק לפרוסות סיליקון בקוטר גדול המתאימים לעיבוד מיקרו יגדל יותר ויותר. מוליכים למחצה, שבבים, מעגלים משולבים, עיצוב, פריסה, שבב, ייצור ותהליך נכון לעכשיו, נעשה שימוש נרחב בתהליכי חיתוך, שחיקה, ליטוש ואריזה נקיים בעולם, תוך התקדמות משמעותית בטכנולוגיית הייצור. עם הצגת הטכנולוגיה החדישה ביותר, הייצור והפיתוח הניסיוני של שבבים בעלי ביצועים גבוהים כגון SOI נכנסו גם הם לשלב הייצור ההמוני. בתגובה, יצרני פרוסות סיליקון גם הגדילו את ההשקעה שלהם בציוד לפרוסות סיליקון בקוטר 300 מ"מ כדי לחדד עוד יותר את כללי העיצוב. באמצעות טכנולוגיית ניקוי קולי, במהלך תהליך הניקוי, התדר האולטרסוני סוחף קדימה ואחורה בטווח סביר, דוחף את נוזל הניקוי ליצירת ריפלוקס עדין, מה שמאפשר הסרה מהירה של לכלוך של חלקי העבודה תוך כדי קילוף קולי, שיפור הניקוי. יְעִילוּת.

שיטת ניקוי ושיטת מכשיר

הנח את פרוסות הסיליקון שטופות והטחונות בצורה אופקית על מסגרת מוט קוורץ בצורת גדר מעל תחתית מיכל הניקוי. בתנאי של הקפדה על רמה גבוהה של מים דה-יונים וזרימה רציפה במיכל הניקוי, השתמשו בוויברטור קולי הממוקם בתחתית מיכל הניקוי לניקוי. התדר האולטראסוני הוא 40KHz. הפוך את פרוסות הסיליקון הטחונות כל 5 דקות, והמשיכו לשטוף יתר על המידה עד שלא יוצאים מזהמים שחורים מפני השטח של פרוסות הסיליקון הטחונות שנשטפות יתר על המידה.

הדופן התחתונה של מסגרת הסיליקון החד-גבישית במכשיר היא מוט קוורץ בצורת גדר, וכל המסגרת נתמכת במיכל הניקוי על ידי רגלי תמיכה. לאחר שטיפת העל האנכית והאופקית של ההמצאה הנוכחית, היא פותרת את בעיית הקושי המקומי בניקוי עקב המרחק הלא שווה בין פרוסת הסיליקון למקור האולטראסוני, והצטברות קלה של מזהמים בחלק התחתון של פני השטח של הסיליקון. רָקִיק. זה גם מבטל את התופעה שסל הפרחים הרך העשויה מחומר פוליטטראפלואור הנושא את פרוסת הסיליקון יכולה לספוג ולחסום את השידור של מקור הגל האולטראסוני, ולגרום לאזורים מקומיים על פני פרוסת הסיליקון להיות לא נקיים.

www.superbheater.com