אילו סוגי סרטי מתכת ניתן להשיג בתהליך PVD של ציפוי צינורות חימום חשמליים בוואקום?

אילו סוגי סרטי מתכת ניתן להשיג בתהליך PVD של ציפוי צינורות חימום חשמליים בוואקום?

 

אלומיניום (AL), טיטניום (Ti), טיטניום ניטריד (TiN), קובלט (Co).

 

בדרך כלל, כאשר הפרוסה נכנסת למכונת PVD, היא חייבת להיות מצופה טיטניום/טיטניום ניטריד/אלומיניום/טיטניום/טיטניום ניטריד. חמש שכבות מתכת.

 

תפקידו של קובלט הוא סיליקיד מתכת (סיליקיד).

מהו העיקרון של תהליך PVD של ציפוי צינורות חימום חשמליים בוואקום?

 

 

הפרש פוטנציאל גבוה נוסף בין ה-Target לבין ה-wafer. בשלב זה, גז התהליך Ar מתפרק ל-Ar plus תחת הפרש הפוטנציאל הגבוה, ומכיוון ש-Ar plus נטען באופן חיובי ונמשך על ידי השדה החשמלי, הוא מתנגש במטרה, מה שגורם למטרה לייצר גרגרי מתכת הנופלים עקב כוח הכבידה . אל הרקיק ליצירת סרט. תהליך זה הוא PVD.

מה היעד של ציפוי ואקום של צינור חימום חשמלי?

 

ב-PVD, המטרה היא חומר מתכת המשמש ליצירת סרט.

העיקרון הבסיסי של ציפוי ואקום צינור חימום חשמלי יעד ציפוי PVD

 

ניתן לחלק את העיקרון הבסיסי של טכנולוגיית שקיעת אדים פיזית לשלושה שלבי עיבוד:

 

(1) אידוי חומר הציפוי, כלומר אידוי של חומר הציפוי, שאינו דומה לקפיצה.

 

(2) נדידת אטומים, מולקולות או יונים מציפוי אלקטרו: תגובות שונות מתרחשות לאחר התנגשות אטומים, מולקולות או יונים.

 

(3) על המצע מופקדים אטומים, מולקולות או יונים אלקטרו.

ציפוי ואקום צינור חימום חשמלי מטרת ציפוי PVD?

 

השקעת אדים פיזית (PVD) היא טכנולוגיית הכנת סרט דק אשר מאדה פיזית את פני השטח של מטרה לאטומים גזים, מולקולות או חלקים המיוננים ליונים בתנאי ואקום. הסרט הפונקציונלי מופקד על פני המצע. השיטות העיקריות של שקיעת אדים פיזיקלית כוללות אידוי ואקום, שקיעת קיצוץ, ציפוי פלזמה בקשת, ציפוי יונים וכו'. מהירות השקעת סרט PVD היא מהירה, הידבקות חזקה, עקיפה טובה ומגוון רחב של יישומים.

www.superbheater.com