באילו גזים ניתן להשתמש בתנורי צינור PECVD משופרים בפלזמה?

גזים תגוביים:
סילאן (SIH ₄): משמש להפקדת סרטים דקים מבוססי סיליקון, כמו סיליקון אמורפי, סיליקון מיקרו-גבישי, סיליקון ניטריד (Si ∝ n ₄), ותחמוצת סיליקון (SiO ₂).
גז אמוניה (NH3): משמש לעתים קרובות בשילוב עם סילאן להפקיד סרטי סיליקון ניטריד ולספק מקור חנקן.
חנקן (N ₂): יכול לשמש כגז מנשא או גז מדולל, ויכול להשתתף גם בתגובת ההפקדה של סרטים דקים כמו סיליקון ניטריד.
תחמוצת חנקן (N ₂ O) או חמצן (O ₂): משמש להפקיד סרטי תחמוצת סיליקון ולספק מקור חמצן.
מתאן (CH ₄) או פחמימנים אחרים: משמשים להפקדת סרטים מבוססי פחמן, כמו סרטי פחמן דמוי יהלומים (DLC).

גז אינרטי (גז מוביל/גז דילול):
ארגון (AR): משמש בדרך כלל כגז מנשא או גז מדולל כדי לסייע בייצוב הפלזמה ולווסת את הלחץ החלקי של גז התגובה.
הליום (HE): זה יכול לשמש גם כגז מנשא ובעל מוליכות תרמית גבוהה, המסייעת לשלוט בטמפרטורת התגובה.

גז סמים:
פוספין (pH ∝): משמש לסמים מסוג N כדי להכין סרטים דקים מוליכים למחצה מוליכים למחצה.
Borane (B ₂ H ₆): משמש לסמים מסוג P והכנת סרטים דקים של מוליכים למחצה מסוג P.
בורון טריפלואוריד (BF ∝): יכול לשמש גם כמקור סמים מסוג P.

גזים מיוחדים אחרים:
מימן (H ₂): נפוץ בתגובות הפחתה או בשילוב עם סילאן כדי לווסת את קצב התצהיר ותכונותיהם של סרטים דקים.
Hexafluoride גופרית (SF ₆): משמש בתהליכים מיוחדים מסוימים לתחריט או טיפול פני השטח.

גורמים המשפיעים על בחירת הגז:
סוג הסרט: בחר את הגז התגובה המתאים על בסיס חומר הסרט המופקד הנדרש (כגון SiO ₂, Si ∝ N ₄, DLC וכו ').
דרישות סמים: להכין סרטים דקים של מוליכים למחצה מסוג P או N, יש להציג גזים מסמים תואמים.
תנאי תהליך: פרמטרים כמו קצב זרימת גז, פרופורציה ולחץ יכולים להשפיע על קצב התצהיר, האיכות והביצועים של סרטים דקים.
בטיחות: גזים מסוימים, כגון סילאן ופוספין, הם דליקים, נפיצים או רעילים ודורשים דבקות קפדנית בהליכי הפעלה בטיחותיים.

דוגמא ליישום מעשי:
תפקוד של סרט דק סיליקון ניטריד: בדרך כלל מוצגים סילאן (SIH ₄) ואמוניה (NH3), ולעיתים מתווספים חנקן (N ₂) או ארגון (AR) כגז מנשא.
מוצגים הצבת סרטי דק תחמוצת סיליקון: בדרך כלל, סילאן (SIH ₄) ותחמוצת חנקן (N ₂ O) או חמצן (O ₂) מוצגים.
תצהיר של סרט DLC: בדרך כלל, מתאן (CH ₄) ומימן (H ₂) מוצגים, ולעיתים מתווספים ארגון (AR) כגז מנשא.