ציפוי תרסיס תגובתי בכסף בוואקום

ציפוי תרסיס תגובתי בכסף בוואקום

הראשון הוא להשתמש ביעדי ציפוי מורכבים. במהלך הקפיצה, תרכובת המטרה מתפרקת עקב השפעת הפצצת יונים. לדוגמה, לאחר שימוש בארגון טהור כגז המקרטע, היחס הסטוכיומטרי של הסרט החדש שיוצר יתעוות. על מנת לפצות על אובדן הרכיבים הידועים, ניתן להוסיף לארגון כמות מסוימת של גז תגובתי ליצירת תרכובות, על מנת להבטיח שהרכב שכבת הסרט יישאר ללא שינוי.

השני הוא להשתמש במתכת טהורה, סגסוגת או תערובת כיעד הציפוי, באווירת קיצוץ מעורבת המורכבת מגז אינרטי וגז תגובתי, באמצעות קיצוץ ותגובה כימית להשגת הסרט המורכב.

ההבדל העיקרי בין שתי הצורות הוא קצב התצהיר ולחץ גז התגובה. הגזים התגובתיים שניתן להשתמש בהם לקרטוט תגובתי הם: אוויר, חמצן או אדי מים (ליצירת סרט תחמוצת), חנקן או NH3, (ליצירת סרט ניטריד), חמצן בתוספת חנקן (ליצירת סרט אוקסיניטריד), H2S (ליצירת סרט אוקסיניטריד). סרט סולפיד) ), As (יצירת סרט ארסן) וכו'. חלק מהגזים הללו חייבים לשים לב לבעיות בטיחות בשימוש.

נכון לעכשיו, הקוטר של מטרת הקזת המגנטרון הגלילית הגיע ל-2.5 מטר, ואורך מטרת הקיזוז המגנטרון המישורית הגיע ל-6.5 מטר. הופעתם של יעדי קיזור מגנטרונים בעלי הספק גבוה בשטח גדול פתחה נתיב רחב ליישומים בייצור תעשייתי בנפח גבוה.

חסרונות של התנגדות ציפוי כסף ואקום שיטת אידוי מקור אידוי

החיסרון של שיטת אידוי מקור אידוי התנגדות הוא שהטמפרטורה המקסימלית שניתן להגיע אליה בחימום מוגבלת, וגם חיי המחמם קצרים. בשנים האחרונות, על מנת לשפר את חיי מקור האידוי ההתנגדות, השתמשו במפעלי ציוד ציפוי הוואקום בארץ ובחו"ל בחומר הקרמי המוליך המסונתז על ידי בורון ניטריד עם חיים ארוכים יותר כמקור האידוי. על פי דוח פטנט יפני, הוא יכול להשתמש בחומר המורכב מ-20 אחוז עד 30 אחוז בורון ניטריד וחומר עקשן שניתן להתמזג איתו ליצירת מקור אידוי (כור היתוך), ולצפות את פני השטח שלו בשכבה של מכיל 62 אחוז עד 82 אחוז מזרקוניום, והשאר הוא חומר סגסוגת זירקוניום-סיליקון.

www.superbheater.com