מכונת חילול ואקום ציפוי יון פריקת קתודה חלולה

מכונת חילול ואקום ציפוי יון פריקת קתודה חלולה

 

מאפיינים: יעילות הפרדה גבוהה, נקודת קרן אלקטרונית גדולה, סרט מתכת, סרט דיאלקטרי וסרט מורכב ניתן לציפוי.

מכונת ציפוי בוואקום שדה חשמלי אידוי

מאפיינים: אידוי ואקום עם שדה חשמלי, איכות ציפוי טובה.

מכונת ציפוי ואקום משופרת מסוג ARE

מאפיינים: קל ליינון, העוצמה הנדרשת מהמצע ועוצמת הפריקה ניתנת להתאמה עצמאית, והאיכות והעובי של שכבת הסרט קלים לשליטה.

מכונת ציפוי ואקום ציפוי פלזמה בלחץ נמוך

מאפיינים: מבנה פשוט יכול להשיג TiC, TiN וציפויים מורכבים אחרים.

אידוי תגובה אקטיבית במכונת ציפוי ואקום

מאפיינים: יעילות אידוי גבוהה, יכול להשיג תחמוצת אלומיניום, TiN וסרטים דקים אחרים.

מכונת חילול ואקום RF פריקת יון ציפוי

מאפיינים: פחות גז לא טהור, יצירת סרט טוב יותר, יצירת סרט תרכובת טובה יותר. התאמה קשה.

מכונת ציפוי ואקום מסוג רב קתודה

מאפיינים: לשימוש באלקטרונים בעלי אנרגיה נמוכה יש יעילות יינון גבוהה, וניתן לשלוט באיכות הסרט.

מכונת ציפוי ואקום יכולה לצלוח מגוון רחב של חומרים

 

איכות הציפוי גבוהה. במהלך תהליך השקיעה, הוא מופגז ללא הרף על ידי קטיונים, מה שהופך את שכבת הסרט לצפופה יותר. ניתן לציפוי מגוון רחב של חומרים. קצב השקיעה גבוה, היווצרות הסרט מהירה וניתן לציפוי את הסרט העבה.

למכונת ציפוי ואקום יש עקיפה טובה

 

עקיפה זה טוב. בלחץ גבוה, חומר הסרט מיונן, והיונים או המולקולות המיוננות מתנגשות מספר פעמים בתהליך ההגעה למצע, ולבסוף מתקרזים סביב המצע. לאחר מכן הוא מופקד על מצע מוטה=שלילי תחת פעולת שדה חשמלי.

מכונת ציפוי ואקום משפרת גם את חספוס פני המצע

 

הידבקות חזקה, והציפוי לא קל ליפול. כאשר מכונת ציפוי יונים משמשת לציפוי יונים, פני המצע מופגזים ביונים ומנוקים באופן רציף, מה שמשפר את ההידבקות של פני המצע. במקביל, הקפיצה גם משפרת את החספוס של משטח המצע. סיבה נוספת היא שהאנרגיה הקינטית הנישאת על ידי יונים המפציצים את המצע מומרת לאנרגיה תרמית על פני המצע, וכתוצאה מכך אפקט חימום עצמי, המשפר את התכונות הגבישיות של מבנה השכבה על פני המצע, וכן מעודד תגובות כימיות ודיפוזיה.

www.superbheater.com