ההסתברות להפקדת סרט אל על המצע של ציפוי ואקום שווה

ההסתברות להפקדת סרט אל על המצע של ציפוי ואקום שווה

נעשה שימוש באידוי קרן האלקטרונים של מכונת ציפוי ואקום, המנגנון הפלנטרי מסתובב באופן שווה בעת הפקדת הסרט, וההסתברות של כל מצע בעת הפקדת סרט אל שווה; המוקד של המנגנון הפלנטרי נמצא במקור האידוי של כור ההיתוך, וקצב השקיעה של כל מצע הוא תחת מידה מסוימת של ואקום. כמעט שווה. שימוש בשיטת ציפוי מגנטרון לציפוי ואקום, מכיוון שניתן לשלוט בזרם השקיעה ומתח היעד, כלומר, ניתן להתאים ולשלוט בעוצמת הקפיצה, יכולת השליטה והחזרה של עובי הסרט טובים, וניתן להשתמש בו על משטחים גדולים יותר. התקבל סרט בעובי אחיד.

עובי סרט האל של מכונת ציפוי הוואקום ישפיע ישירות על תכונות אחרות של סרט האל

חשוב מאוד לשלוט בקפדנות על עובי סרט האל, מכיוון שעובי סרט האל ישפיע ישירות על תכונות אחרות של סרט האל, ובכך ישפיע על האמינות של מכשיר המוליך למחצה. עבור צינור הכוח בלחץ גב גבוה, מתח העבודה שלו גבוה והזרם גדול. ללא עובי מסוים של סרט המתכת, צפיפות הזרם על סרט Al ליחידת שטח תהיה גבוהה מדי, מה שקל לשרוף. עבור התקני מוליכים למחצה כלליים, אם שכבת Al דקה מדי, המשכיות הסרט ירודה, ויש לו מבנה אי או רשת, מה שמקשה על חיבור הלידים, מה שמקשה על חיבור או חיבור חלש, ובכך משפיע התשואה; שכבת Al אם היא עבה מדי, לא ניתן לראות את הדפוס בבירור במהלך הפוטוליתוגרפיה, מה שמקשה על קורוזיה ונוטה לקורוזיה של קצוות ולתופעת "חיבור".

www.superbheater.com