קרז ריאקטיבי לציפוי ואקום של צינורות חימום חשמליים נמצא בשימוש נרחב להפקדת סרטים מורכבים

קרז ריאקטיבי לציפוי ואקום של צינורות חימום חשמליים נמצא בשימוש נרחב להפקדת סרטים מורכבים

 

הפיתוח של הנדסת משטח מודרנית מצריך יותר ויותר שימוש בסרטים מורכבים שונים, וטכנולוגיית קיצוץ מגנטרונים תגובתיים היא אחת הדרכים העיקריות להפקדת סרטים מורכבים. כדי להפקיד סרטים מורכבים עם רכיבים מרובים, ניתן להשתמש בחומר המטרה העשוי מחומרים מורכבים לתצהיר קפיצה, או כאשר מקרטעים מטרות מתכת טהורות או סגסוגת, ניתן להכניס גז תגובתי מסוים, כגון חמצן וחנקן, כדי להגיב ולהפקיד תרכובת סרטים. זה נקרא קפיצה תגובתית. בדרך כלל מטרות מתכת טהורות וגזים תגובתיים קלים להשגת טוהר גבוה, ולכן נעשה שימוש נרחב בקיזור תגובתי להפקדת סרטים מורכבים.

היתרונות של ציפוי יונים של צינור חימום חשמלי בוואקום

 

יתרון

 

שיעור שיקוע גבוה

 

סרט צפוף

 

עקיפה טובה, יכולת חזקה לכסות משטחים מורכבים

 

יתרונות וחסרונות של תרסיס תגובתי לציפוי ואקום של צינורות חימום חשמליים

 

(1) תגובה חומר המטרה (מטרה חד-אלמנטית או מטרה מרובה-אלמנטים) והגז התגובתי (חמצן, חנקן, פחמימנים וכו') המשמשים בקפיצת מגנטרון הם בעלי טוהר גבוה, דבר המסייע להכנת טוהר גבוה. סרטים מורכבים.

 

(2) על ידי התאמת פרמטרי התהליך בקיזור מגנטרון תגובתי, ניתן להכין סרטי תרכובת סטוכיומטריים או לא סטוכיומטריים, וניתן לווסת את תכונות הסרט על ידי התאמת הרכב הסרט.

 

(3) במהלך תהליך שקיעת מגנטרון תגובתי, טמפרטורת המצע קטנה יחסית, ובדרך כלל אין צורך לחמם את המצע בטמפרטורה גבוהה במהלך תהליך יצירת הסרט, כך שיש פחות הגבלות על חומר המצע.

 

(4) קפיצת מגנטרון ריאקטיבית מתאימה להכנת סרטים דקים אחידים בשטח גדול, ויכולה לממש את הייצור המתועש של תפוקה שנתית במכונה אחת של מיליוני מטרים רבועים של ציפוי.

 

חִסָרוֹן

 

נוטה להרעלת מטרה, היעלמות האנודה ובעיות אחרות

www.superbheater.com