שיטות גימור משטח של תבניות הטבעה

עיבוד משטח דיוק של הדפסי הטבעה הוא הליך מפתח לשיפור האלמנטים המוטבעים והקיום המוביל של קוביות. אסטרטגיות השלמת הרצפה לא יוצאות דופן עבור תבניות הטבעה מורכבות מהדברים הבאים:
1. חידוד מראה
על ידי שימוש באסטרטגיות מדריך או השחזה מכניות, נעשה שימוש קבוע בחומרי שחיקה רבים כדי לשפר את חלקות הרצפה של התבנית.
. זה יכול לקבל השפעת ברק משוכפלת של Ra{{0}}.1~Ra0.4um, לשפר באופן משמעותי את דיוק העובש ולהגביר עמידות.
2. עיבוד שבבי פריקה חשמלית
. ניתן לבצע עיבוד שבבי עדין ברצפת התבניות באמצעות מצוות פריקה חשמלית, שעלולה להפיל בורות קטנים וקורות.
. חספוס הרצפה יכול להגיע ל-Ra{{0}}.2~Ra0.8um, והרצפה הנהדרת חלקה.
3. ציפוי טונגסטן כימי
תרופת ציפוי טונגסטן כימית מיושמת ברצפת התבנית לעיצוב ציפוי צפוף
. זה יכול לשפר באופן דרסטי את הקשיות, להרכיב עמידות ועמידות בפני קורוזיה של התבנית.
4. ציפוי יונים
ציפויים שונים עמידים להדבקה יחד עם TiN, CrN וכו' מכוסים ברצפת Moxian בשימוש בטכנולוגיית ציפוי יונים.
זה יכול לשפר בצורה נכונה את קשיות הרצפה ולהעמיד עמידות של התבנית,
5. מרווה בלייזר
שימוש בלייזר לחימום ביתי ולכיבוי רצפת התבנית יכול להגדיל את קשיות הרצפה.
. עובי שכבת ההמרה יכול להגיע ל-0.3-0.8 מ"מ, מה שעלול להגביר את קיום הנשא של התבנית.
ריסוס קר
רססו אבקת פלדה על רצפת התבנית באמצעות זרימת אוויר בקצב גבוה כדי לעצב ציפוי עמיד. ציפוי הביניים צפוף ובעל הידבקות חזקה, מה שעלול לשפר באופן דרסטי את עמידות התבנית לבלאי.