הבית - יֶדַע - פרטים

כיצד לפתור את תופעת הפריקה הלא יציבה של כלי פריקה חשמליים במהלך עיבוד שבבי

יציבות הפריקה במכונות פריקה חשמלית במהלך העיבוד משפיעה ישירות על איכות ויעילות העיבוד, והיא אחד המדדים החשובים למדידת האפקטיביות של תהליך העיבוד כולו. לכן, זה תמיד היה עניין של טכנאים מהנדסי פריקה חשמלית, וכיצד להשיג יציבות גבוהה של עיבוד פריקה חשמלית הוא גם נושא מחקר וחקירה חם בתחום הנוכחי של עיבוד פריקה חשמלית. להלן, בהתבסס על שנות ניסיוני בעיבוד שבבי פריקה חשמלית, אסביר את תופעת הפריקה הבלתי יציבה במהלך העיבוד, אנתח את הגורמים לה, ואציע כמה צעדי שיפור.
1. סקירה של מנגנון תהליך הפריקה של מכונות פריקה חשמלית בעיבוד שבבי.
עיבוד עיבוד של פריקה חשמלית מורכב מתהליכי פריקה מיקרוסקופיים מיקרוסקופיים רבים. תהליך פריקת דופק בודד רגיל כולל יינון ופירוק של המדיום בין שני הקטבים, ויוצרים תעלת פריקה. הטמפרטורה הגבוהה המיידית בתעלת הפריקה גורמת לנוזל העבודה להתגזות ולהיסדק, לחומרי מתכת להתמוסס ולהתגזה, והלחץ הגבוה המיידי גורם להשלכת שבבי העיבוד לתוך נוזל העבודה. עם המפגש של פריקת הדופק, המדיום בין שני הקטבים עובר דה-יוניזציה, משקם בידוד ותהליך מורכב. המצב הבסיסי של כל פריקת פעימה במרווח הפריקה במהלך עיבוד פריקה חשמלי נקרא מצב הפריקה. ישנם חמישה סוגים של מצבי פריקה: מעגל פתוח, פריקת ניצוץ, פריקת קשת מעבר, פריקת קשת וקצר חשמלי. מצבי פריקה שונים מתרחשים לסירוגין ובאופן הסתברותי בעיבוד שבבי בפועל. על מנת להשיג עיבוד של פריקה חשמלית יציבה, יש צורך להפחית מצבי פריקה חריגים בפריקת דופק ולהבטיח מחזור מוצלח של תהליך פריקה דופק בודד.
2. הערכת יציבות עיבוד שבבי פריקה חשמלית והשפעתה.
קיימות שורה של תופעות נגזרות בעיבוד שבבי פריקה חשמלית, ודרך הביטויים החיצוניים בתהליך העיבוד ניתן להבין את יציבות העיבוד ולגלות מצבי פריקה לא תקינים. בעיבוד רגיל, צבע הניצוץ הנצפה הוא בדרך כלל כחול לבן עם צבע להבה אדום, והניצוץ קטן ואחיד. משטח נוזל העיבוד פולט בועות קטנות ללא עשן, וצליל הניצוצות הנשמע ברור ומתמשך. הזרם ומד המתח של כלי המכונה מתנודדים באופן קבוע, ומחוון חוגת הסרוו ניזון במהירות קבועה. זמן הפריקה ופעולת הרמת הכלים במהלך העיבוד נמשכים באופן קבוע. ערך זיהוי העומק של כלי המכונה מראה התקדמות יציבה. להיפך, כאשר הפריקה מתרכזת במקום אחד במהלך העיבוד, צבע הניצוץ הוא אדום בוהק, מפלס הנוזל פולט עשן לבן ובועות גדולות, צליל פיצוץ הניצוץ נמוך ועמום, המצביע של הזרם ומד המתח מתנדנד בחדות , ותופעת הפריקה הלא יציבה של הקפיצה החדה של מנגנון הסרוו יכולה להיחשב כאפשרות של פריקת קשת, אשר גורמת לעיתים קרובות לאלקטרודה ולחומר העבודה ליצור פחמן ולצריבה. פריקת קשת המעבר גרועה מעט ממצב פריקת הניצוץ הרגיל במהלך העיבוד. הוכח כי צליל הפריקה אינו אחיד, הבועות שנוצרות גדולות מזו שבפריקה רגילה, לזרם ולמד המתח יש תנודות ברורות, פריקה לזמן קצר במהלך העיבוד, ומרימים את הכלי לעתים קרובות. ערך זיהוי העומק משתנה מאוד קדימה ואחורה, מראה דפוס הלוך ושוב. פריקת קשת מעבר מתרחשת לעתים קרובות בעיבוד שבבי מדויק, וכוח ההרס שלה קל יחסית, אך הוא הופך בקלות לפריקת קשת. מותר לפרוק מדי פעם ללא עומס (מעגל פתוח) וקצר חשמלי במהלך העיבוד. במהלך פריקה ללא עומס, יש מתח גדול מ-50V על פער הניצוץ, אך לא זורם דרכו זרם. מד הזרם אינו מציג קצר חשמלי, ומרווח הפריקה מחובר ישירות על ידי קצר חשמלי. כאשר הפער מקוצר, הזרם גבוה, אך המתח בשני קצוות הפער קטן. קצרים עלולים להזיק בקלות לאלקטרודה, וקצרים תכופים עלולים לגרום להיווצרות פגמים בחומר העבודה ובאלקטרודה באופן מקומי. גם לפריקה ללא עומס וגם לקצר אין השפעה על השחיקה והעיבוד של חומר העבודה, מה שמשפיע על מהירות העיבוד. בהתבסס על המצב היציב במהלך העיבוד, ניתן לקבוע את מצב הפריקה של העיבוד. כפי שהוזכר קודם לכן, התופעה של פריקה לא יציבה משבשת את פריקת הניצוץ הרגילה ויכולה להפוך בקלות למצב פריקה לא תקינה. פריקה לא יציבה גם מפחיתה משמעותית את מהירות העיבוד, וכתוצאה מכך לחספוס לא אחיד של פני השטח ואפילו בעיות חמורות באיכות פני השטח. גורם להופעת פגמים משטחים על האלקטרודה. מרווח הניצוץ הבלתי סדיר במצב פריקה לא יציב מקשה על שליטה מדויקת בגודל העיבוד ומשפיע על דיוק העיבוד. ניתן לראות כי להבטחת פריקה יציבה במהלך העיבוד יש משמעות רבה לעיבוד שבבי.
3. סיבות לפריקה לא יציבה ואמצעי שיפור.
(1) כלי פריקה חשמליים עם ביצועי פריקה גרועים חווים לעתים קרובות פריקה לא יציבה במהלך העיבוד. עיבוד פריקה חשמלי מסתמך בעיקר על ביצועי עיבוד טובים של כלי מכונות להשלמת העיבוד. כלי פריקה חשמליים בדרגה גבוהה מצוידים במעגלי פלט דופק שונים, ולציר יש מאפייני סרוו מהירים ותגובה גבוהה, שיכולים לעמוד בדרישות של יציבות גבוהה ועיבוד איכותי במהלך העיבוד. אם ביצועי העיבוד של כלי המכונה גרועים, לעיתים קרובות מתרחשת חוסר יציבות של פריקה בלתי נשלטת במהלך העיבוד, ומשפיעה קשות על איכות העיבוד. ביצועי העבודה של אספקת הכוח הדופק של כלי המכונה והחריגה של מערכת הזנת הסרוו של כלי המכונה הם הסיבות העיקריות להתרחשות התכופה של חוסר יציבות פריקה בעיבוד שבבי הנגרמת מהסיבות המובנות של כלי הפריקה החשמלית. אם צורת הגל של ספק הכוח הדופק של כלי המכונה חריגה, העיבוד לא יכול להתקדם ביציבות. כדי להשיג עיבוד פריקה יציב, יש צורך לדרוש מאספקת הכוח הדופק של כלי המכונה להפיק סדרה של פולסים שפירים, לעבוד ביציבות ובאמינות ולהיות נקי מהפרעות חיצוניות. מערכת הזנת הסרוו של כלי המכונה צריכה להיות בעלת רגישות גבוהה ולהיות מסוגלת לזהות במדויק את פער הניצוץ במצב הפריקה, להתאים אוטומטית לפריקה חריגה ולמזער את ההתאמה והפיגור ככל האפשר. בשל המורכבות של בעיות הקשורות לביצועים חריגים של כלי מכונות, על המשתמשים ליצור קשר מיידי עם מחלקת השירות לתחזוקת כלי מכונות לאחר אישור כי מדובר בבעיה בכלי המכונות, ולבקש מכוח אדם מקצועי לתקן ולפתור בעיות.
(2) התאמה לא נכונה של פרמטרים חשמליים משפיעה לרעה על יציבות הפריקה. שימוש לא נכון בפרמטרים חשמליים הוא הסיבה העיקרית לפריקה לא יציבה. תקן החשמל מורכב בעיקר משלושה פרמטרים חשמליים עיקריים: זרם, רוחב דופק ופער דופק. השימוש בזרם מוגזם, ברוחב הפולסים ובפער הפולסים הוא הסיבה העיקרית לתופעת הפריקה הלא יציבה הנגרמת כתוצאה מהתאמה בלתי סבירה של פרמטרים חשמליים. יש להגדיר ולבחור את השלושה באופן ספציפי בהתבסס על היציבות במהלך העיבוד והדרישות של מחווני תהליך העיבוד. במקרה של פריקה לא יציבה, השיקול הראשון הוא להגדיל את פער הדופק, מה שיכול להבטיח דה-יוניזציה במהלך העיבוד, לשפר את תנאי הסרת השבבים ולהשפיע מעט על מחווני התהליך. שנית, שקול להפחית את רוחב הדופק. אם רוחב הפולסים גדול מדי, יהיו זמני פריקה רבים מדי בטווח הקצר במהלך העיבוד, ולא יהיה זמן לדה יוניזציה במהלך העיבוד, מה שעלול להוביל בקלות לשריפת קשת. פרמטרים אחרים חשובים גם הם במהלך העיבוד. פרמטרים כגון מהירות הרמה, זמן פריקה וגובה הרמה המשפיעים ישירות על אפקט הסרת השבבים. במקרה של פריקה לא יציבה, יש להאיץ את מהירות הרמת הסכין, להפחית את זמן הפריקה ולהגדיל את גובה הרמת הסכין. כאשר עוסקים בפרמטרים חשמליים, יש לשים לב במיוחד להבדל ביציבות הפריקה בין עיבוד גס לעיבוד מדויק. בעיבוד גס, בשל אנרגיית הפריקה הגבוהה, מרווח הניצוצות הגדול והאפקט הטוב של הסרת שבבים, לעיתים קרובות ניתן להגיע לעיבוד יציב יחסית, בעוד שבעיבוד מדוייק, ההפך הוא הנכון, הנוטה לפריקה לא יציבה. לכן יש לבצע ניטור מיוחד לצורך עיבוד שבבי מדויק. הקוטביות של העיבוד צריכה להיות נכונה. אם נעשה שימוש בטעות בקוטביות השלילית (האלקטרודה שלילית) בעיבוד רגיל, עלולה להתרחש פריקה לא יציבה והעיבוד לא יכול להמשיך. לכן, יש לשנות את קוטביות העיבוד.
(3) תופעת הפרשות לא יציבה הנגרמת כתוצאה מטיפול לא תקין בנוזל ובעיות איכות במהלך העיבוד. עיבוד פריקה חשמלי מתבצע במדיום נוזל עבודה. ביצועי הבידוד של נוזל העבודה ממלאים תפקיד של דה-יוניזציה בתהליך פריקת הדופק, האצת קירור האלקטרודה וחומר העבודה במהלך העיבוד, והשעיה ופריקה של מוצרי הקורוזיה מפער הפריקה. בעיבוד שבבי פריקה חשמלית, שיטות שטיפה וחילוץ נוזלים משמשות לעתים קרובות להסרת שבבים כדי למנוע פריקת קשת ולהבטיח עיבוד יציב. עם זאת, שיטות טיפול נוזליות לא נכונות יכולות גם להשפיע על יציבות ההפרשה. לחץ שטיפה ושאיבה מוגזם יקשה על יצירת תעלות פריקה וייצר פריקה חלקית לא יציבה, במיוחד בגימור. ניתן לשלוט בלחץ השטיפה והשאיבה בטווח לחץ קריטי הקרוב לעיבוד יציב. כיוון שטיפת שמן שגוי עלול להוביל להצטברות שבבי עיבוד ולהיווצרות פריקה לא יציבה, וקל ליצור משקעי פחמן. בדרך כלל, נעשה שימוש בשמן שטיפה לכיוון אזור הפתיחה, בעוד שפיכת שמן כלפי מטה משמשת לאזור התחתון העיוור. למרות שטיפה ושאיבת שמן עיבוד יכול ביעילות לפרוק שבבי עיבוד ולשפר את יציבות הפריקה, שדות זרימה לא אחידים יכולים לגרום לפריקה מרוכזת ולפריקה משנית, המשפיעים מאוד על השטיחות והחספוס של חלק העבודה, וכתוצאה מכך פערי פריקה לא אחידים. יתר על כן, שחיקה חזקה עלולה לגרום לאובדן חריג של פינות האלקטרודות. אז בעיבוד שבבי מדויק, בדרך כלל נעשה שימוש בשיטת הטיפול הנוזלי של עיבוד לא שטיפה וטבילה, תוך הסתמכות על פעולת הרמת הכלי כדי להסיר שבבים ולהשיג עיבוד יציב. זה מציג דרישות גבוהות יותר לתצורת כלי מכונה. כאשר הציר של כלי מכונה מעובד בהזנת תאוצה גבוהה, אפקט היניקה שנוצר מאפשר פריקה יעילה של שבבי עיבוד, זפת וגז פליטה הקיימים בין האלקטרודה לחומר העבודה. עיבוד ארוך טווח עלול לגרום לטמפרטורת שמן מוגזמת, ואם לא ניתן לקרר היטב את פני שטח העיבוד, קל לגרום לפריקה לא יציבה. טמפרטורת השמן לא תעלה על 35 מעלות, ובמידת הצורך, יש להתקין מכשיר קירור בכניסת השמן של מערכת מחזור נוזל העיבוד כדי לשלוט בו. איכות נוזל העבודה במהלך העיבוד חשובה גם ליציבות פריקת העיבוד. נוזל העיבוד המלוכלך המכיל יותר מדי שבבי עיבוד אינו יכול להקל בזמן על מצב הזיהום בפער הפריקה במהלך העיבוד, וכתוצאה מכך לאי פיזור של נקודות פריקה והיווצרות פריקת קשת מזיקה. נוזלי עיבוד ירודה יכולים גם לגרום לפריקה לא יציבה במהלך העיבוד בשל הביצועים הגרועים שלהם. נוזל העיבוד של הפריקה החשמלית המשמש דורש צמיגות נמוכה, בידוד גבוה, יכולת לנקות תעלות פריקה, נזילות טובה, חדירות ומאפיינים נוספים. קיימים כיום סוגים רבים של נוזלי עבודה מיוחדים לעיבוד שבבי פריקה חשמלית, והושגו כמה הישגים בהוספת תוספים רלוונטיים לנוזל העבודה, שיכולים לשפר את ביצועי הפריקה והיציבות, וניתנים לאימוץ.
(4) השפעת גורמים כגון סוג ואיכות חומרי האלקטרודה המשמשים, והצמדת פרמטרים חשמליים לעיבוד של חומרי אלקטרודה שונים על יציבות הפריקה. חומר האלקטרודה חייב להיות בעל מוליכות טובה ומאפייני פריקה יציבים. לאלקטרודות נחושת טהורה יש ביצועי עיבוד מצוינים, במיוחד במונחים של יציבות עיבוד, ואינן נוטות לפריקת קשת או לפריקת קשת מעבר. הם יכולים לפרוק ביציבות ברוב תהליכי העיבוד והשימוש בהם נרחב. היציבות של עיבוד אלקטרודות גרפיט טובה, המתאפיינת בשמירה על פריקה יציבה במהלך עיבוד גס עם זרם גבוה והבטחת אובדן אלקטרודה נמוך. עם זאת, בעיבוד שבבי מדויק, נוטות להתרחש תופעות פריקה לא יציבה, מה שמוביל לשריפת קשת. סגסוגת טונגסטן נחושת וסגסוגת טונגסטן כסף משמשים לעתים רחוקות בחומרי אלקטרודה מכיוון שהם יקרים. הם עדיין יכולים לפרוק ביציבות בחלקים קשים לעיבוד כגון חריצים מיקרו ועמוקים, עם אובדן אלקטרודה מינימלי, ונחשבים לשימוש בעיבוד שבבי מדויק. חומר האלקטרודה שנבחר חייב להבטיח איכות על מנת להשיג פריקה יציבה במהלך העיבוד. נחושת טהורה חייבת להיות נחושת אלקטרוליטית ללא זיהומים ומחושלת. ישנם מספר סיווגים של חומרי אלקטרודות גרפיט, כגון emi grade, כיתה דק במיוחד, כיתה אולטרה דק, כיתה עדינה וכו', שניתן לבחור בהתבסס על דרישות הדיוק והיעילות של העיבוד. איכות חומרי הגרפיט צריכה להיות מאורגנת באופן שווה, עם חוזק טוב, ולא נוטה להתקלף במהלך העיבוד. בעת שימוש בחומרי אלקטרודה שונים לעיבוד, יש צורך לטפל בגמישות בהתאמה של פרמטרים חשמליים על מנת להשיג פריקה יציבה במהלך העיבוד, תוצאות עיבוד טובות וערך החומר הנבחר. כיום, מכונות עיבוד חשמלי רבות יכולות להתאים אוטומטית פרמטרים חשמליים המבוססים על שילובים שונים של חומרי עיבוד. צימוד פרמטרים חשמליים עוסק בעיקר בגודל הזרם, רוחב הפולסים ופער הפולסים. בהתבסס על הביצועים של חומר האלקטרודה, בחר פרמטרים חשמליים מתאימים כדי למנף את יתרונות העיבוד של החומר ולטפל בפגמים בעיבודו. בשל השימוש השונה בכלי מכונות.
(5) הבחירה הבלתי סבירה של שיטות תהליך הביאה לפריקה לא יציבה במהלך העיבוד. האם שיטת התהליך של עיבוד עיבוד פריקה חשמלי סבירה וישימה היא גם המפתח להשגת עיבוד יציב. רוב העיבודים כוללים שימוש באלקטרודות עיבוד גס כדי להסיר כמות גדולה של מתכת, ולאחר מכן החלפתן באלקטרודות חצי דיוק או עיבוד מדויק להשלמת מעבר או עיבוד מדויק. המפתח לשיטת תהליך זה הוא שימוש בניעור אלקטרודות במהלך העיבוד כדי לשפר את הסרת השבבים ולהשיג עיבוד יציב. על ידי שימוש בשיטת התרגום החופשי בתנאי עיבוד רב שלבים, שני הצירים האחרים מבצעים תנועה ממושכת בו זמנית ככל שעומק העיבוד גדל. השימוש בניעור בעיבוד יכול להפוך את הפריקה ליציבה יותר, להפחית תופעות של פריקה משנית ולהשיג חספוס משטח אחיד יותר על המשטחים הצדדיים והתחתונים, אשר מקובל מאוד. כמות כוח הטלטול תלויה בדרישות הצורה והדיוק של חלק העיבוד, ונחשבת בדרך כלל כ-0.03 מ"מ בעיבוד מדויק. בשל כוח הטלטול הקטן, זה לא ישפיע על דיוק הפרופיל של העיבוד. אם לא נעשה שימוש בשיטת ניעור בעיבוד שבבי, קשה להשיג עיבוד יציב בתנאי פריקת פערים קטנים. קל למצוא תופעות עיבוד לא יציבות הנגרמות בגלל סיבה זו בעיבוד שבבי מדויק. הפריקה המשנית שנוצרת על ידי פריקה לא יציבה עלולה לגרום לגודל העיבוד להיות גדול מדי, ובמקרה של תנאי הסרת שבבים טובים, היא גם עלולה לגרום לגודל העיבוד להיות קטן מדי בגלל שפער הניצוץ בפועל קטן מקנה המידה של האלקטרודה כמות, מה שהופך את הגודל לא ניתן לשליטה מדויקת. השימוש בשיטת עיבוד ניעור יכול להשיג עיבוד יציב ולפתור ביעילות את הבעיות הללו.
(6) חלקים קשים לעיבוד אינם תורמים לעיבוד יציב. חלקי עיבוד מסוימים נוטים לפריקה לא יציבה במהלך העיבוד עקב מגבלות העיבוד שלהם. בתחילת עיבוד פני השטח, בעת עיבוד חלקים חדים וחדים, בשל שטח הפריקה הממשי הקטן וצפיפות הזרם הגבוהה, ריכוז מוצרי הקורוזיה המקומיים גבוה מדי, ולא ניתן לפזר ולהעביר את נקודות הפריקה. לחום השיורי לאחר הפריקה אין זמן להתפזר ולהצטבר, מה שגורם להתחממות יתר ולפגיעה ביציבות העיבוד. יש צורך להפחית זמנית את הזרם ולהגדיל בהדרגה את תקן החשמל לאחר ששטח העיבוד בפועל מתרחב בהדרגה והעיבוד מתייצב בהדרגה. בעת עיבוד חורים עמוקים, חלקים משופעים וחלקי חלל עמוקים, עלולה להתרחש גם פריקה לא יציבה במהלך העיבוד עקב קושי בהסרת שבבים. דרוש אמצעים מתאימים כדי לשפר את ביצועי הסרת השבבים. העיבוד של אלקטרודות נטויות חייב להיות בעל גובה פריקת סיגים גבוה. חלקי חורים עמוקים וחללים עמוקים יכולים להשתמש בקנה מידה גדול יותר עבור אלקטרודות כדי לשפר את הסרת השבבים באמצעות תרגום. בעת עיבוד חורים מעגליים עמוקים, עם ציר C מותקן, מתקן בשימוש וקונצנטרי, ציר C יכול להסתובב במהלך העיבוד, ולהשיג עיבוד יציב מאוד. כאשר ניתן לבצע עיבוד שבבי, חלק ניקוי הפינות מאמץ שיטת הצמדה של 3-ציר, כלומר עיבוד שבבי אלכסוני, כדי למנוע את התופעה של פריקה לא יציבה בגלל השטח הקטן של חלק העיבוד. יתר על כן, שימוש בעיבוד סרוו לרוחב בחלקים קשים לעיבוד יכול גם לשפר את יציבות הפריקה. השימוש בהימנעות מחללים ופתיחת חורי פליטה והסרת שבבים עבור אלקטרודות יכול גם לשפר את תופעת הפריקה הלא יציבה בכמה מצבי עיבוד קשים.
(7) תופעת הפריקה הלא יציבה הנגרמת מבעיות עיבוד בתהליך פעולת העיבוד. פריקה לא יציבה יכולה להתרחש גם כאשר כמה שלבים קטנים בפעולות העיבוד אינם מטופלים כראוי. חלקי עבודה קטנים או קשים להדק ואלקטרודות עלולים להשתחרר במהלך העיבוד עקב היעדר שיטות הידוק אמינות, וכתוצאה מכך לפריקה לא יציבה. לאחר עיבוד במכונת השחזה, חומר העבודה יפיק מגנטיות, במיוחד עבור חלקי עבודה קטנים. אם חומר העבודה מעובד ישירות על ידי פריקה חשמלית ללא טיפול דה-מגנטיזציה, זה יגרום לספיגת שבבי העיבוד וקשה לפרוק, וכתוצאה מכך לפריקה לא יציבה במהלך העיבוד. לכן, יש צורך לבטל את מגנט היצירה לפני העיבוד. יש פסולת, חלודה וכתמים באזור העיבוד, וכתוצאה מכך פריקה מאוד לא יציבה בתחילת העיבוד. העיבוד של חלקים עם חורים חודרים אינו מתחשב בשימוש בחורים להסרת שבבים במהלך ההידוק, וכתוצאה מכך עיבוד תחתית עיוור, המפחית מאוד את יציבות העיבוד. תופעת ה"ירי" במהלך העיבוד עלולה לגרום להתרופפות חומר העבודה, וגם תהליך הצתת הגז משפיע על יציבות העיבוד. הסטייה בתיקון האלקטרודה הגורמת להטיה במהלך העיבוד יכולה גם היא להשפיע מעט על יציבות הפריקה. בעיבוד של חלקי חלל עמוקים, אם הפסולת שהצטברה לא מוסרת בזמן עם מברשת, עלולה להתרחש פריקה לא יציבה במהלך העיבוד, מה שמקשה על המשך העיבוד בצורה חלקה. בהתבסס על הסיבות לפריקה לא יציבה במהלך הפעולה שהוזכרו לעיל, ניתן לנקוט באמצעים מתאימים לשיפור יציבות העיבוד.
בהתבסס על ניתוח הגורמים לפריקה לא יציבה בעיבוד שבבי פריקה חשמלית בטקסט הקודם, ניתן לראות כי לפריקה של שבבי עיבוד יש תפקיד מכריע ביציבות של עיבוד פריקה חשמלית. רוב האמצעים מושגים בעצם על ידי שיפור ישיר או עקיף של מצב הפריקה של העיבוד, השגת עיבוד יציב בתנאי פריקת שבב חלקה. הבנה וביטול של גורמי הפרעה שונים בעיבוד שבבי פריקה חשמלית היא ערובה חשובה להשגת עיבוד פריקה יציב. על ידי שיפור תופעת הפריקה הלא יציבה בעיבוד שבבי פריקה חשמלית, ניתן למנוע פריקה חריגהinfo-908-902

שלח החקירה

אולי גם תרצה