כיצד למדוד את עובי הסרט של מכונת ציפוי ואקום?

כיצד למדוד את עובי הסרט של מכונת ציפוי ואקום?

לאחר השימוש במכונת ציפוי הוואקום לציפוי הסרט, ייתכן שיהיה צורך למדוד את עובי שכבת הסרט. באיזו שיטה משתמשים כדי למדוד את עובי שכבת הסרט?

שיטת בקרת הציפוי הישירה ביותר היא שיטת ה-Quartz Crystal Micro-Balance (QCM). מכשיר זה יכול להניע ישירות את מקור האידוי ולהניע את הבפל דרך בקרת PID כדי לשמור על קצב האידוי.

כל עוד המכשיר מחובר לתוכנת בקרת המערכת, הוא יכול לשלוט בכל תהליך הציפוי. אבל הדיוק של (QCM) מוגבל, בין השאר מכיוון שהוא מנטר את איכות הציפוי המופקד ולא את העובי האופטי שלו.

כמו כן, בעוד QCM יציב מאוד בטמפרטורות נמוכות יותר, הוא הופך להיות רגיש מאוד לטמפרטורה בטמפרטורות גבוהות יותר. במהלך חימום ממושך, קשה למנוע מהחיישן ליפול לאזור רגיש זה, ולגרום לשגיאות משמעותיות בסרט.

ניטור אופטי הוא שיטת הניטור המועדפת לציפויים בעלי דיוק גבוה מכיוון שהוא מאפשר שליטה מדויקת יותר על עובי השכבה (אם משתמשים בו נכון).

השיפור ברמת הדיוק נובע מגורמים רבים, אך הבסיסי ביותר הוא ניטור העובי האופטי.

אם משאבת הדיפוזיה הייתה בשימוש רצוף במשך יותר מ-6 חודשים, ברור שמהירות השאיבה מואטת, או שהפעולה אינה תקינה. מלאו את האוויר לאטמוספירה, הסר את צינור המים המחבר, הסר את הכיריים החשמליות ושחרר את הזרבובית ברמה הראשונה. שטפו את כיס המרה פעם אחת, לאחר מכן שטפו אותו באבקת כביסה מהולה במים, ולאחר מכן נקה אותו היטב במים. לאחר שהמים מתאדים ומתייבשים, התקן את משאבת כיס המרה, הוסף שמן משאבת דיפוזיה חדש, והכנס אותו בחזרה לגוף, חבר את צינור המים והתקן את התנור החשמלי. דיסק, אתה יכול לאתחל. לפני הפעלה מחדש, שימו לב לאיתור נזילות. השיטה היא: הפעל את משאבת התחזוקה, סגור את הדלת ולאחר מספר דקות בדוק האם דרגת הוואקום של משאבת הדיפוזיה מגיעה ל-6X10 Pa, אחרת יש צורך לבצע איתור נזילות.

www.superbheater.com