כיצד מוסמכים לוחות חימום לעמוד בתקני SEMI עבור ציוד לייצור מוליכים למחצה?
השאר הודעה
ייצור של מוליכים למחצה מצריך ניקיון וטוהר חומרים גדולים. לוחות החימום המשמשים בציוד לעיבוד פרוסות צריכות לעמוד בקריטריונים מחמירים מאוד של SEMI אשר חורגים הרבה מעבר לבטיחות חשמלית בסיסית וכוללים הוצאת גז, ייצור חלקיקים ותאימות חומרים.
מהם תקני SEMI
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) הוא איגוד סחר בינלאומי שיוצר תקנים כדי להבטיח את האיכות, הבטיחות והתאימות הסביבתית של ציוד לייצור מוליכים למחצה. קריטריונים אלו חיוניים לניקיון ולביצועים הדרושים לייצור מוליכים למחצה. תקני SEMI משתרעים על קשת רחבה של נושאים, כולל בטיחות ציוד (S2), תאימות סביבתית (S8) ודרישות ספציפיות לחומר-. כשזה מגיע לפלטות חימום תאימות SEMI פירושה שהם עומדים בתקני הטוהר הגבוהים הנדרשים לייצור מוליכים למחצה.
מפתח תקני SEMI עבור לוחות חימום
SEMI S2 - בטיחות של ציוד
SEMI S2 קובע כללי בטיחות כלליים עבור ציוד מוליכים למחצה כדי להבטיח שצלחות החימום בטוחות לשימוש בסביבת ייצור. . תאימות SEMI S2 מאומתת על ידי הערכת צד שלישי- שנעשתה על ידי מעריך SEMI S2 מוסמך. התקן מכסה בטיחות חשמל, תקינות מכנית ותפעול כללי של הציוד.
SEMI S3 - הנחיות בטיחות עבור אמבטיות כימיות מחוממות
SEMI S3 מתייחס לבטיחות הציוד באמבטיות כימיות מחוממות. תקן זה מבטיח כי לוחות חימום, המופעלים במערכות עיבוד כימיות, אינן מהוות סיכונים בטיחותיים או חוסר יעילות תפעולית. הוא כולל גם חומרים ומבנה כדי למנוע זיהום על ידי התמיסה הכימית החמה.
מפרט SEMI F57 - לחומרים פולימרים במים טהורים במיוחד ובמערכות כימיות נוזליות
SEMI F57 מגדיר את התקנים לחומרים פולימריים, כולל ציפויים על לוחות חימום, במגע עם מים טהורים במיוחד וכימיקלים נוזליים. תקן זה מבטיח שהחומרים המשמשים בציוד לייצור מוליכים למחצה תואמים לנוזלים טהורים במיוחד- ואינם משפיעים על טוהר התהליך.
תקני הסמכה לצלחות חימום
לוחות חימום בציוד מוליכים למחצה נדרשים להיבדק בקפדנות לפי תקני SEMI. בדיקות אלו קשורות לאיכויות החומר, עמידות למזהמים ותאימות כימית:
יציאת גז (ASTM E 595)
יציאת גז היא פליטת כימיקלים נדיפים מחומרי לוח החימום בעת חימום. בייצור מוליכים למחצה, זיהום בסביבת חדר נקי יכול להוביל לתקלות בהתקני מוליכים למחצה אפילו מרמות זעירות של יציאת גז. לוחות חימום העשויים מחומרים כגון ציפוי PTFE ו-PFA חייבים להיבדק עבור הוצאת גז לפי דרישות ASTM E595 כדי להבטיח שהם לא משחררים תרכובות מסוכנות במהלך הפעולה.
חלקיקים נופלים-
יש לבנות לוחות חימום כדי למזער את היווצרותם של חלקיקים שעלולים לזהם את הפרוסה או פעולות כימיות. יש לבחון כל חומר שעלול לבוא במגע עם נוזלי תהליך כדי לוודא שהוא אינו משיל חלקיקים לרמות שיפריעו לתהליכי הייצור העדינים במארזים של מוליכים למחצה.
עמידות בפני כימיקלים בתהליך
לוחות חימום בייצור מוליכים למחצה נתונים לרוב לחומרים עוינים כגון חומצות, ממיסים ומים טהורים במיוחד. חומרים אלה צריכים להיות עמידים בפני קורוזיה ועמידים בפני השפלה בנסיבות הייחודיות של תהליך ייצור המוליכים למחצה. ציפויים PTFE ו-PFA נמצאים בשימוש נרחב על לוחות חימום בשל העמידות הכימית המעולה שלהם, מה שמבטיח שהשלמות של משטח החימום נשמרת מבלי להכניס מזהמים כלשהם.
תקני SEMI עבור פלטות וצ'אקים מחוממים תקני SEMI חשובים SEMI S2 - בטיחות ציוד (דרישות בטיחות כלליות)
SEMI S3 - הנחיות בטיחות עבור מחמם אמבט כימי
מפרט SEMI F57 - לחומרים פולימרים במים טהורים במיוחד ובמערכות כימיות נוזליות
ASTM E595 שיטת בדיקת גז
SEMI F47 - שיטות עבודה מומלצות עבור ציוד לייצור מוליכים למחצה
מַסְקָנָה
SEMI הוא תקן שלפיו לוחות חימום המשמשים בציוד מוליכים למחצה חייבים לעמוד בתקני הטוהר והבטיחות של תעשיית המוליכים למחצה. לוחות חימום מאושרים ללא זיהום מתכת, ממזערות את נשירת החלקיקים ועומדות בתקנות הוצאת גז כדי להגן על תהליך ייצור המוליכים למחצה. מגזרי נישה מפתחים סטנדרטים ספציפיים משלהם כדי למלא את הצרכים הטכניים המיוחדים שלהם. עמידה בתקנים כאלה מבטיחה שהציוד עומד בדרישות הביצועים המחמירות והגבוהות של תעשיית המוליכים למחצה.
