קביעת הביצועים של סרטי תחמוצת אנודיים

1. קביעת עובי סרט תחמוצת אנודי
קיימות שיטות שונות לבדיקת עובי של סרטי תחמוצת אנודית, וישנן שתי צורות בסיסיות: בדיקה הרסנית ובדיקה לא הרסנית. השיטה הנפוצה ביותר בבדיקות לא הרסניות היא בדיקת זרם מערבולת. בדיקה אחת של בודק עובי זרם המערבולת יכולה לייצר תנודה של 1KHz, הגורמת להיווצרות זרם במתכת כאשר הגשש מגע עם פני המתכת. עוצמת הזרם קשורה קשר הדוק למרחק בין המתכת לבדיקה, כך שניתן למדוד את עובי סרט התחמוצת על פני המתכת באמצעות שינויים בזרם. השתמש במכשיר זה כדי לבדוק את הדיוק שלו עד ± 1.0 מיקרומטר.
שיטת הבדיקה ההרסנית הנפוצה היא שיטת החתך, המשמשת למדידת עובי סרט התחמוצת במאמר זה. ניתן למצוא את השלבים המפורטים ב-GB6462-86 או ב-ISO1436-1982.
ראשית, חיתוך חוט משמש לחיתוך חתיכה מהמדגם, כאשר כיוון החיתוך מאונך למשטח הסרט. לאחר מכן, שטח החתך של סרט התחמוצת מוטבע כמישור אופקי, טחון לפי שיטת הכנת המדגם המטאלוגרפי, ולבסוף מלוטש למשטח מראה.
בשל הצבע האפור הכהה של סרט התחמוצת, הגבול בין משטח סרט התחמוצת לבין הבקליט מתבלבל לעתים קרובות בהגדרת המדגם. לכן, אנו מבחינים בין סרט התחמוצת והבקליט על ידי רדיד נחושת סנדוויץ.
התבונן וצלם תמונות של המדגם המלוטש תחת המיקרוסקופ המטאלוגרפי Neohot II. ההגדלה המשמשת לבדיקה במאמר זה היא 500 ×; מדוד את העובי האמיתי של סרט התחמוצת בתמונות המטאלוגרפיות של כל דגימה, מדוד חמש נקודות עבור כל דגימה ולקח את הממוצע של התוצאות.
2. קביעת קשיות סרט תחמוצת אנודי
ערך הקשיות של הסרט האנודייז הקשיח על סגסוגת אלומיניום הוא אינדיקטור חשוב למדידת הביצועים של סרט התחמוצת. ערכו הוא בדרך כלל פי 5-10 מזה של מצע סגסוגת האלומיניום. בשל העובדה שסרט התחמוצת בדרך כלל דק מאוד ואינו מספיק לעמוד בלחץ משמעותי, במאמר זה ישמש בודק מיקרו-קשיות למדידת קשיות סרט התחמוצת של כל דגימה ופיזורו לאורך חתך סרט התחמוצת. .
הכנת הדגימה המשמשת לבדיקת מיקרו קשיות זהה לדגימה המשמשת למדידת עובי סרט התחמוצת, כלומר, דגימת החתך של סרט התחמוצת מוטבעת, טחונה ומלוטשת למצב מראה.
בדיקת המיקרו-קשיות מתבצעת בהתאם ל-GB9790-88, שהוא התקן של ISO4516-1980 (E). לעובי סרט תחמוצת של 25 μ נקודת הבדיקה ממוקמת באמצע שכבת הסרט עבור דגימות סביב m; עבור דגימות עם עובי סרט של יותר מ-50um, חלוקת הקשיות תיבדק לאורך קטע סרט התחמוצת, כלומר, מהשכבה החיצונית של סרט התחמוצת ועד לקטע סרט התחמוצת/מצע, ייבדקו שלוש נקודות, כלומר, 1/ 4 מממשק סרט תחמוצת/מצע, מאמצע סרט התחמוצת ו-3/4 מממשק סרט תחמוצת/מצע. הקשיות של מצע סגסוגת האלומיניום היא בערך 100 מעלות מסרט התחמוצת/חתך המצע μ Test ב-m. בדוק ביעילות 3 נקודות בכל נקודת בדיקה, ולאחר מכן קח את הערך הממוצע כערך הקשיות שלו.
בודק הקשיות המיקרו הוא בודק הקשיות הדיגיטלי BUEHLER Micromet II, עם עומס של 0.245N וזמן טעינה של 15S.